ثنائي كلورو السيلان

ثنائي كلورو السيلان (H2SiCl2) (اختصاراً DCS) وعادة ما يخلط مع الأمونيا (NH3) في غرف الترسيب الكيميائي للبخار (LPCVD) لإنتاج نيتريد السيليكون في معالجة أشباه الموصلات.[1][2]

ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان

ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان

الاسم النظامي (IUPAC)

Dichlorosilane

أسماء أخرى

Silicic dichloride dihydride

المعرفات
رقم CAS 4109-96-0 ☑Y
بوب كيم (PubChem) 61330  ☑Y[PubChem]
22967941  ☑Y[PubChem]
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
  • Cl[SiH2]Cl

  • 1S/Cl2H2Si/c1-3-2/h3H2 ☑Y
    Key: MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N ☑Y

الخواص
صيغة كيميائية H2Cl2Si
كتلة مولية 101.01 غ.مول−1
المظهر Colorless gas with characteristic odor
نقطة الانصهار -122 °س، 151 °ك، -188 °ف
نقطة الغليان 8 °س، 281 °ك، 46 °ف
الذوبانية في الماء Reacts
ضغط البخار 163.6 كـبا (20 °م)
المخاطر
صحيفة بيانات سلامة المادة ICSC 0442
فهرس المفوضية الأوروبية Not listed
مخاطر Extremely flammable gas, explosive in air
NFPA 704

4
4
2
W
نقطة الوميض −28 °م
حدود الاشتعال 4.1–99%
مركبات متعلقة
chlorosilanes ذات علاقة Chlorosilane
ثلاثي كلورو السيلان
رباعي كلوريد السيليكون
مركبات ذات علاقة Difluorosilane
Dibromosilane
ثنائي كلورو الميثان
في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال)

عند استخدام تركيز عالي من ثنائي كلورو سيلان : أمونيا (مثلاً، 16 :1)، عادة ماينتج أفلام (طبقة رقيقة) نيتريد منخفضة الإجهاد.

وهو وسيط بين السيلان ورباعي كلوريد السيليكون.

طالع أيضاً

مراجع

  1. ^ Record of CAS RN 4109-96-0 in the GESTIS Substance Database from the IFA, accessed on 9 décembre 2012
  2. ^ "nchem.403-comp13 - Compound Summary". PubChem Compound. USA: National Center for Biotechnology Information. 27 مارس 2005. Identifiers and Related Records. مؤرشف من الأصل في 2012-10-10. اطلع عليه بتاريخ 2011-11-30.