https://3rabica.org/index.php?action=history&feed=atom&title=%D8%B1%D8%B4_%D9%85%D9%87%D8%A8%D8%B7%D9%8Aرش مهبطي - تاريخ المراجعة2026-06-10T10:37:45Zتاريخ التعديل لهذه الصفحة في الويكيMediaWiki 1.43.7https://3rabica.org/index.php?title=%D8%B1%D8%B4_%D9%85%D9%87%D8%A8%D8%B7%D9%8A&diff=1580203&oldid=prevعبد العزيز: استبدال وسائط مستغى عنها في الاستشهاد2023-09-11T19:39:15Z<p>استبدال وسائط مستغى عنها في الاستشهاد</p>
<p><b>صفحة جديدة</b></p><div>{{مصادر أكثر|تفاصيل = بحاجة للاستشهاد بمعجم مطبوع بدلاً عن قاعدة بيانات معجمية على الإنترنت}}<br />
'''الرش المهبطي''' أو '''الرشرشة'''<ref>[http://www.aec.org.sy/pdf/AECS_Annual_Report_2005_2006.pdf تقرير الهيئة السورية للطاقة الذرية 2005-2006م] {{Webarchive|url=https://web.archive.org/web/20170110214946/http://www.aec.org.sy/pdf/AECS_Annual_Report_2005_2006.pdf |date=10 يناير 2017}} {{وصلة مكسورة|تاريخ=2020-08-02|bot=JarBot}}</ref> هي عملية يجري فيها لفظ الذرات من مادة صلبة لدى تعريضها إلى قذف من جسيمات عالية الطاقة.<ref name=Behrisch1981>{{استشهاد بكتاب| مؤلف= R. Behrisch (ed.)|عنوان= Sputtering by Particle bombardment: |ناشر=Springer, Berlin| سنة=1981|ردمك=978-3-540-10521-3}}</ref> عادةً ما تستعمل هذه العملية من أجل [[ترسيب فيزيائي للبخار|ترسيب]] [[غشاء رقيق|الأغشية الرقيقة]]، بالإضافة إلى [[تنميش|التنميش]] وتقنيات تحليلية أخرى. <br />
[[ملف:Sputterer.JPG|thumb|يسار|جهاز رش مهبطي تجاري]]<br />
<br />
==فيزياء الرش المهبطي==<br />
يعتمد المبدأ الفيزيائي للرش المهبطي على تبادل العزم بين الأيونات والذرات في المادة المستهدفة نتيجة حدوث التصادم.<ref name="Behrisch1981"/><ref name=Sigmund1987>{{استشهاد بدورية محكمة| مؤلف= P. Sigmund, Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B |المجلد=27 |سنة=1987| صفحات=1|doi = 10.1016/0168-583X(87)90004-8 |عنوان=Mechanisms and theory of physical sputtering by particle impact |صحيفة=Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms|bibcode = 1987NIMPB..27....1S }}</ref><ref name=Behrisch2007>{{استشهاد بكتاب| مؤلف= R. Behrisch and W. Eckstein (eds.)|عنوان= Sputtering by Particle bombardment: Experiments and Computer Calculations from Threshold to Mev Energies |ناشر=Springer, Berlin| سنة=2007}}</ref><br />
<br />
عندما يلتقي الأيون الصادم مع الذرات تنشأ [[تعاقب التصادم|تعاقبات التصادم]] (''Collision cascades'') في المادة الهدف. عندما يرتد هذا التعاقب ويصل إلى سطح المادة الهدف بطاقة أعلى من [[طاقة الارتباط|طاقة ارتباط]] السطح، فإن ذرة من ذرات السطح يمكن أن تلفظ. إن متوسط عدد الذرات التي يمكن أن تلفظ من مادة هدف ما نتيجة أيون صادم يسمّى مردود الرش المهبطي، وهو يعتمد على زاوية الأيون الصادم وطاقة الأيون وكتلته وعلى نوع الذرة المستهدفة وطاقة ارتباطها بالسطح. بالنسبة للمواد البلورية فإن توجه محاور البلورة بالنسية إلى السطح يمكن أن يكون مؤثراً.<br />
<br />
يمكن الحصول على الأيونات الصادمة بواسطة العديد من الطرق، مثل [[بلازما (فيزياء)|البلازما]]، أو عن طريق [[مسرع جسيمات|معجل جسيمات]] أو مواد مشعة [[جسيم ألفا|لجسيمات ألفا]].<br />
<br />
يعد نموذج ثومبسون التحليلي أحد النماذج لوصف عملية الرش المهبطي على شكل نظام متسلسل للأهداف المسطحة [[مادة لابلورية|اللابلوية]].<ref name=Thompson>{{استشهاد بدورية محكمة|مؤلف=M.W. Thompson|صحيفة= Philos. Mag. |المجلد=18|صفحة=377|سنة= 1962|doi=10.1080/14786436808227358|عنوان=Energy spectrum of ejected atoms during the high- energy sputtering of gold|bibcode = 1968PMag...18..377T|العدد=152 }}</ref><br />
<br />
==المراجع==<br />
{{مراجع}}<br />
{{شريط بوابات|الكيمياء|علم المواد}}<br />
<br />
{{تصنيف كومنز|Sputtering}}<br />
<br />
{{ضبط استنادي}}<br />
<br />
{{بذرة كيمياء}}<br />
<br />
[[تصنيف:تغطية]]<br />
[[تصنيف:علم السطوح]]<br />
[[تصنيف:علم المواد]]</div>عبد العزيز