https://3rabica.org/index.php?action=history&feed=atom&title=%D8%AA%D9%86%D9%85%D9%8A%D8%B4_%D8%AC%D8%A7%D9%81تنميش جاف - تاريخ المراجعة2026-06-13T21:07:07Zتاريخ التعديل لهذه الصفحة في الويكيMediaWiki 1.43.7https://3rabica.org/index.php?title=%D8%AA%D9%86%D9%85%D9%8A%D8%B4_%D8%AC%D8%A7%D9%81&diff=1511629&oldid=prevعبد العزيز: بوت: إصلاح التحويلات2022-12-15T04:47:48Z<p>بوت: إصلاح التحويلات</p>
<p><b>صفحة جديدة</b></p><div>{{لا مصدر|تاريخ=يناير 2022}}<br />
'''التنميش الجاف''' (dry etching) يقصد به إزلة [[مادة|المادة]] وعادة يكون الغطاء [[شبه موصل|مادة شبه موصلة]].<br />
<br />
بتعريض المادة هذه لقصف [[أيون|أيوني]] (غالبا ماتكون [[بلازما (توضيح)|البلازما]] لتفاعل [[غاز|الغازات]] مثل فلوروكربونات و[[أكسجين|الأكسجين]]، [[كلور|الكلور]]، ثلاثي كلوريد البورن، ويضاف لها أحيانا [[نيتروجين|النيتروجين]]، [[إرجون (منظمة عسكرية)|الأرجون]] و[[هيليوم|الهيليوم]]) حيث تعمل على إزلة أجزاء من على سطح المادة المعرضة لل[[تفاعل (توضيح)|تفاعل]]، طريقة العمل هذه تختلف عن بعض [[مادة كيميائية|المواد الكيميائية]] التي تعمل نتوءات في المادة وتسمى مواد [[التنميش الرطب]].<br />
<br />
== التفسير ==<br />
<br />
التنميش الجاف يستخدم صفائح ضوئية معدة تقنيا تتزامن مع الهجوم على مناطق محددة على سطح [[شبه موصل|أشباه الموصلات]] لتشكل تجاويف في المادة مثل الثقوب المتصلة أو إزلة اجزاء أخرى من على طبقات شبه الموصل وغالبا على الجانبين بشكل عامودي.<br />
<br />
يتزامن تصنيع أشباه الموصلات في حدود [[ميكرو|مايكرو]] وإزالة المخلفات العضوية باستخدام [[بلازما (توضيح)|بلازما]] الأكسجين التي توصف أحيانا عملية التنميش الجاف، ويمكن استخدام مصطلح ترميد البلازما.<br />
<br />
التنميش الجاف مفيد للمواد وأشباه الموصلات، حيث لايمكن استخدام الحفر الرطب، مثل [[كربيد السيلكون]] و[[نيتريد الغاليوم]].<br />
<br />
== المراجع ==<br />
{{مراجع}}<br />
<br />
التنميش الجاف يستخدم في صنع [[شبه موصل|أشباه الموصلات]] وتشكيل هيكل مكثف خندقي نظرا لأفضليته على التنميش الرطب للحصول على خواص متباينة وخواص مرتفعة للهياكل.<br />
<br />
يعتمد تصميم المادة بالتنميش الجاف أساسارتباط الشعاع اللاسلكي مع خليط غازي تحت ضغط منخفض لتأيين البلازما.<br />
<br />
==انظر أيضا==<br />
* [[تنميش البلازما]]<br />
* التنميش ([[تصنيع دقيق]])<br />
* [[تصنيع عناصر أشباه الموصلات|تصنيع نبائط أشباه الموصلات]]<br />
{{شريط بوابات|الكيمياء|تقنية النانو}}<br />
{{بذرة كيمياء}}<br />
[[تصنيف:تصنيع أجهزة أشباه الموصلات]]<br />
[[تصنيف:تقانة مايكروية]]<br />
[[تصنيف:نقش]]<br />
[[تصنيف:نقش (تصنيع دقيق)]]</div>عبد العزيز